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微型电动平台
我们提供了一系列不同长度的精密线性平台，并提供不同的附加选择。行程可以到达100 mm，应用方向广泛。采用Crossfixx超声压电技术，速度可以达到200 mm/s。非常适合扫描应用，提供恒定的扫描速度，误差小于2%。
我们的平台易于安装和使用，将平台和控制器连接可以非常简单的通过软件控制平台到达需要的位置。
根据不用的应用，我们提供不同的平台精度，从分辨率1.25 um到1 nm可选。特殊的定制要求也可以满足，如高真空环境，需要将平台放置在SEM上使用，或者真空腔体之中，仍然能够保持良好的性能。使用短壳版平台，我们可以获得较大的行程距离，使体积与行程比达到优异。
我们的精密线性平台通过超声压电电机驱动，紧凑以及准确的线性压电平台，易于安装以及操作。
产品选型
| 型号 | 图片 | 推力 N |
行程 mm |
负载 g |
分辨率 nm |
重复精度 nm |
精度 μm |
速度 |
| XLS-1 |  |
1 |
10、25、30、40、 45、50、75、100 |
0.5 max. |
1250 350 80 25 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 25 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
2 — 5 um/s Min. 200 mm/s Max. |
| XLS-3 |  |
3 |
25、40、 50、75、100 |
1.5 max. |
1250 350 80 25 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 25 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
2 — 5 um/s Min. 200 mm/s Max. |
| XLS-5 |  |
5 |
30、48、69、109 |
2 max. |
1250 350 80 50 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 50 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
2 — 5 um/s Min. 200 mm/s Max. |
| XVP |  |
15 |
10 |
2.5 max. |
1250 350 80 25 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 25 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
5 um/s Min. 50 mm/s Max. |
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