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压电定位Z轴平台
闭环压电促动平台。标准平台提供不同的材质，主要包含了超级殷瓦合金，不锈钢，钛合金，铝合金。适合在真空，强辐射，高温的环境中工作。同时我们也提供客户定制型号。
我们可以提供线性平台，偏转台用来构建单轴或者多轴系统，使用高性能压电控制器，电容位置反馈获得完整的闭环控制系统。当使用数字控制器时，支持即插即用功能。
产品选型
| 型号 | 图片 | 方向 |
材料 |
行程 μm |
负载 kg |
线性误差 % |
重复定位精度 nm |
| OP200 |  |
Z |
不锈钢 |
200 闭环 |
0.5 |
0.01 |
1 |
| OP400 | |
Z |
不锈钢 |
400 闭环 |
0.8 |
0.005 |
1.6 |
| OP800 |  |
Z |
不锈钢 |
800 闭环 |
0.5 |
0.01 |
5 |
| SP200 |  |
Z |
铝/不锈钢 |
200 闭环 |
0.5 |
0.25 |
3 |
| SP400 | |
Z |
铝/不锈钢 |
400 闭环 |
0.5 |
0.2 |
3 |
| SP600 | |
Z |
铝/不锈钢 |
600 闭环 |
0.5 |
0.2 |
3 |
| SP800 | |
Z |
铝/不锈钢 |
800 闭环 |
0.5 |
0.2 |
3 |
| NPS-Z-250B |  |
Z |
铝（镀镍） |
250 闭环 |
6 |
0.004 |
NA. |
| NPS-Z-500C |  |
Z |
铝/不锈钢 |
500 闭环 |
NA. |
0.002 |
5 |
| NPS-Z-500B-UHV |  |
Z |
钛铝合金 |
550 闭环 |
NA. |
0.1 |
NA. |
| WP-Z-120A |  |
Z |
不锈钢 |
120 闭环 |
14 |
0.10 |
5.5 |
| NPS-Z-15A |  |
Z |
超殷瓦合金（亮镀镍） |
8 |
0.2 |
＜0.01 |
NA. |
| XP系列 |  |
Z |
铝/不锈钢 |
200 闭环 400 闭环 800 闭环 |
50 30 10 |
0.005 |
5 |
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