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压电定位3轴平台
闭环压电促动平台。标准平台提供不同的材质，主要包含了超级殷瓦合金，不锈钢，钛合金，铝合金。适合在真空，强辐射，高温的环境中工作。同时我们也提供客户定制型号。
我们可以提供线性平台，偏转台用来构建单轴或者多轴系统，使用高性能压电控制器，电容位置反馈获得完整的闭环控制系统。当使用数字控制器时，支持即插即用功能。
产品选型
| 型号 | 图片 | 方向 |
材料 |
行程 μm |
负载 kg |
线性误差 % |
重复定位精度 nm |
| NPS-XYZ-100D-20H |  |
XYZ |
铝（镀镍） |
100 × 100 × 20 |
0.5 |
0.005 |
0.5 |
| NPS-XYP-250Q |  |
X，Y轴，Yaw |
铝（主体）、不锈钢和钛合金结构 |
X、Y 轴 – 250 µm Yaw – 250 µrad |
>10 |
NA. |
NA. |
| SP-XYZ-400/600 |  |
XYZ |
铝（不锈钢） |
400/600 闭环 |
0.6（X） 1.0（Y） |
0.05 |
3(X) 3(Y) 5(Z) |
电话：021-52996090邮箱：sales@nanoptic.com传真：021-52996090
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