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压电XYR平台
我们提供的微型压电 XYR 平台可沿着 X 轴和 Y 轴或者围绕 Z 轴以纳米级精度移动重达 2.5 kg 的负载。
模块化系统中的所有产品均互相兼容，可轻松组合成多轴系统，提供平滑的连续运动、快速的步进和整定时间，并带有静止自锁功能。
产品选型
| 型号 | 图片 | 行程 (XY) mm |
行程 θ (Z) ° |
较小可移动增量 (XY) nm |
较小可移动增量 θ (Z) µrad |
重复定位精度 (XY) nm |
重复定位精度 θ (Z) µrad |
推力/拉力 N |
| XYR-8N |  |
± 10 |
± 10 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(X) 10 / (Y) 8 |
| XYRHV-8N |  |
± 10 |
± 10 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(X) 10 / (Y) 8 |
| XYR-16N |  |
± 10 |
± 10 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(X) 20 / (Y) 16 |
| XYRHV-16N |  |
± 10 |
± 10 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(X) 20 / (Y) 16 |
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