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纳米促动器

我们可以提供大行程120um，大止推力35000N的纳米促动器，可以根据要求提供客户定制的

产品。

DPT系列闭环纳米促动器，使用电容反馈位置传感器，提供低迟滞-高精度定位。即插即用适

配QG的数字控制器，柔性铰链降低了离轴偏差。

MTP系列开环纳米促动器，提供了稳固，紧凑，高性价比的解决方案。配合独立使用的电容

位移传感器，也可以获得闭环控制系统。

产品选型

型号	图片	材料	尺寸 mm	行程 mm	线性误差 %	重复精度 nm
MTP 系列		不锈钢	Φ10 × (30 - 150)	15 - 105	≤6	NA.
DPT-E 系列		超殷瓦合金	Φ20 × (44.2 - 127.8)	20 - 110	＜0.03 -＜0.08	0.5 - 1.2

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