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压电定位平台
闭环压电促动平台。标准平台提供不同的材质，主要包含了超级殷瓦合金，不锈钢，钛合金，铝合金。适合在真空，强辐射，高温的环境中工作。同时我们也提供客户定制型号。
我们可以提供线性平台，偏转台用来构建单轴或者多轴系统，使用高性能压电控制器，电容位置反馈获得完整的闭环控制系统。当使用数字控制器时，支持即插即用功能。
产品选型
| 型号 | 图片 | 方向 |
材料 |
行程 μm |
负载 kg |
线性误差 % |
重复定位精度 nm |
| NPS-X-28C |  |
X |
钛合金 |
28 |
10 |
NA. |
NA. |
| NPS-TG-7A |  |
θ（X，Y） |
殷瓦36 |
7 mard |
NA. |
0.03 |
0.2 urads |
| NPS-X-15A |  |
X |
不锈钢 |
15 |
3 |
0.005 |
NA. |
| NPS-X-15B |  |
X |
铝合金 |
15 |
0.5 |
0.005 |
NA. |
| NPS-XY-100A |  |
XY |
殷瓦合金 |
100 × 100 |
1 |
＜0.01 |
NA. |
| NPS-Z-500B-UHV |  |
Z |
钛铝合金 |
550 |
NA. |
0.1 |
NA. |
| NPS-Z-500C |  |
Z |
铝/不锈钢 |
500 |
NA. |
0.002 |
5 |
| WP120A |  |
Z |
不锈钢 |
120 |
14 |
0.10 |
5.5 |
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