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压电Z轴平台
我们提供的 45 系列垂直升降台可在厘米级范围内以纳米级精度移动，承载重量可达 1 kg，静止时可自锁。此款升降平台配备了集成定位传感器，旨在提供快速简便设置所需的精度、负载能力和易用性。
45 系列垂直升降台的特点为平整、占用空间小，仅为 45 × 45 mm，垂直方向的行程为 10 mm，可提供 5 N 或 10 N 的上升力。
模块化系统中的所有产品均互相兼容且可轻松组合成多轴系统，提供平稳的连续运动、快速的步进和稳定时间以及静止时自锁功能。
产品选型
| 型号 | 图片 | 行程 (Z) mm |
分辨率 nm |
较小可移动增量 nm |
双向重复性 nm (typ. @ ± 5 mm travel) |
偏摆 Pitch |
偏摆 Yaw |
推力/拉力 N |
真空兼容性 |
| ELEV-5N |  |
10 |
2 |
2 |
± 100 |
± 150 |
± 150 |
5 (min.) |
- |
| ELEVHV-5N |  |
10 |
2 |
2 |
± 100 |
± 150 |
± 150 |
5 (min.) |
10-6 mbar |
| ELEV-10N |  |
10 |
2 |
2 |
± 100 |
± 150 |
± 150 |
10 (min.) |
- |
| ELEVHV-10N | |
10 |
2 |
2 |
± 100 |
± 150 |
± 150 |
10 (min.) |
10-6 mbar |
| XVP |  |
10 |
1250 312 78 5 |
1250 312 80 50 |
2500 700 160 100 |
140 |
60 |
30 |
10-6 mbar 10-9 mbar |
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