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压电偏摆台
微型压电偏摆台可沿 Z 轴、X 轴和 Y 轴以纳米级精度移动重达 2.5 kg 的负载。
模块化系统中的所有产品均互相兼容，可轻松组合成多轴系统，提供平滑的连续运动、快速的步进和整定时间，并带有静止自锁功能。
产品选型
| 型号 | 图片 | 行程 (Z) mm |
行程 θ (XY) ° |
较小可移动增量 (Z) nm |
较小可移动增量 θ (XY) µrad |
重复定位精度 (Z) nm |
重复定位精度 θ (XY) µrad |
大推力/拉力 N |
| ZTT-15N |  |
± 10 |
± 9 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(Z) 15 N (至少) |
| ZTTHV-15N |  |
± 10 |
± 9 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(Z) 15 N (至少) |
| ZTT-30N |  |
± 10 |
± 9 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(Z) 30 N |
| ZTTHV-30N | |
± 10 |
± 9 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(Z) 30 N |
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