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参数/型号 | 推力 N | 行程 mm | 重量 g | 分辨率 nm | 重复精度 nm | 速度 |
XLA-1 | 1 |
5 — 145 |
5.5 — 17.5 |
50 — 100 μm |
NA |
10 um/s Min. 1000 mm/s Max. |
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