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FB系列电动Z轴根据不同的应用有若干个选择,FB203最为简易,可以灵活应用于各种光路搭建;FB204,FB205可以直接固定Prior的XY电动平台,用于反射光光路,区别在于底部固定方式不同;FB206也可以直接固定XY平台,用于透射光路。FB的控制以及软件开发兼容Prior的控制系统。
FB204,FB205,FB206自带底座,可以直接固定在光学平台上。全系列也能加装 0.1μm分辨率的线性编码器。滚珠丝杆的齿距为 1mm,使用步进电机驱动,在确保精度的同时,掉电也可以锁定。
行程 38mm,分辨率 20nm,重复定位精度 ± 0.7µm ,负载 14kg。
兼容Prior正置平台,兼容大多数控制器。
参数/型号 | 行程 μm | 重复精度 nm | 分辨率 nm | 速度 mm/s | 负载 kg | 编码器 |
FB204 | 38 |
± 0.7 |
20 |
1 - 14 |
14 |
No |
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软件以及二次开发
控制器
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