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NanoSensor是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。两块传感器板，一个目标和一个探针，即可构成一个平行板电容器。
两块板的间距可以用适当的电子控制器测量，分辨率超过7 pm，范围可达1.25 mm，频率响应可达10 KHz，线性度低至0.02 %。由于纳米传感器是一种非接触式方案，因此没有滞后现象。测量点没有功率损耗。
特性
亚纳米级定位分辨率
零滞后，线性误差低至0.02 %
带宽高达10 kHz，高热稳定性结构
超殷钢、微晶玻璃和陶瓷材质可选
UHV、辐射、低温、无磁性等衍生型
应用
精密制造
计量
形变测量
应变测量（用于空间站机械臂和机械手）
平台控制
材料检测
显微镜
主动光学
精密光束控制
产品参数
| 参数/型号 | 材料 | 分辨率 mm | 线性误差 % | Active area mm2 | 热漂移nm K |
| NXB 系列 | 铝/超殷钢 |
NA. |
NA. |
22.5 |
230/3 |
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