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NPS-Z-500C
紧凑型 500 μm 高精度升降台
500 μm 闭环行程
低旋转误差 0.0025°
2 nm 分辨率和
5 nm 的重复性
线性度误差为 0.002% 典型值
空载谐振频率通常为 210 Hz
伺服带宽高达 55 Hz
产品描述
产品参数
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产品描述
紧凑型 500 μm 高精度升降台
Queensgate的纳米定位平台（NPS）系列旨在为对速度和精度有严苛要求的应用场景提供优异性能。
NPS-Z-500C 是一款紧凑型、长行程的压电高度调节平台，其在闭环控制下可移动 500 微米。
该产品为 OEM 和定制项目而设计，其小巧的尺寸非常适合集成到仪器或测试设备中。内置的电容式定位传感器能够实现高速性能和低至纳米级的重复精度。
得益于柔性铰链导向带来的低误差运动，让这款平台在整个 500 微米的行程范围内能始终保持平稳状态，这使得样品托架能够进行偏移，从而在保持高精度定位的同时方便地接近样品。样品托架和平台安装件可根据各种应用需求进行定制，适用于显微镜、硬盘测试以及半导体检测等广泛领域。
特性
● 500 μm 闭环行程
● 低旋转误差：0.0025°
● 电容式定位传感器提供无与伦比的位置精度和准确度
● 2 nm 分辨率和 5 nm 的重复性
● 线性度误差为 0.002% 典型值
● 动态性能：空载谐振频率通常为 210 Hz，伺服带宽高达 55 Hz
● 原位扫描和步进响应优化
● 插头内置芯片用于储存校准数据实现即插即用，控制器可替换使用，减少系统停机时间。
应用
● 高精度显微镜
共聚焦显微镜
光片显微镜
● 硬盘检测
● 半导体检测和制造
● 科学和医疗仪器
● 反射镜位置调节
推荐控制器
● NPC-D-6110
产品参数
| 参数/型号 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-Z-500C | Z |
铝/不锈钢 |
500 |
NA. |
0.002 |
5 |
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产品资料
电话：021-52996090邮箱：sales@raarrow.com传真：021-52996090
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