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产品描述
PRECIBEO 微型真空压电XYR HV 平台可在低至 10 — 4 Pa 的真空环境下，沿 X 轴、Y 轴以及围绕 Z 轴以纳米级精度移动高达 10 kg 的负载。此系列包含标准版和高真空版两个版本。
PRECIBEO 微型真空压电XYR HV 平台为低至 100 — 4 Pa 的高真空环境而设计。每个平台均配备真空端线缆（PTFE 涂层电线，编织金属套管），末端为 DB9 母头。
此外每个平台还配有空气端母头 DB9 转 ix-Industrial 接口的线缆。将真空端和空气端线缆连接到 DB9 馈通接口，将空气端的 ix-Industrial 连接器连接到控制器，即可开始使用了！
PRECIBEO GO 模块化系统中的所有产品均互相兼容且可轻松组合成多轴系统，提供平稳的连续运动、快速的步进和整定时间以及静止时自锁功能。
特性
● 行程 (XY)：± 10 mm
● 行程 θ (Z)：± 10 °
● 较小可移动增量 (XY)：2 nm
● 较小可移动增量 θ (Z)：＜ 0.1 µrad
● 重复性 (XY)：± 200 nm
● 重复性 θ (Z)：± 15 µrad
● 推力/拉力：(X) 10 N / (Y) 8 N (至少)
● 锁止力（电源关闭时）：(X) 12 N / (Y) 10 N
产品参数
| 型号 | XYRHV-8N |
| 定位 | |
| 行程（XY） | ± 10 mm |
| 行程 θ（Z） | ± 10 ° |
| 较小运动增量 (XY) | 2 nm |
| 较小运动增量 θ (Z) | ＜ 0.1 µrad |
| 重复性 (XY) | ± 200 nm |
| 重复性 θ (Z) | ± 15 µrad |
| 运动性能 | |
| 推力/拉力 | (X) 10 N / (Y) 8 N (至少) |
| 锁止力（电源关闭时） | (X) 12 N / (Y) 10 N |
| 空载时的大速度(XY) | 8 mm/s |
| 大推力/拉力时的大速度 | ＞ 5 mm/s |
| 驱动类型 | |
| 基本模块 | PRECIBEO GO LS4545 线性平台 |
| 机械性能 | |
| 顶部负载 | 10 kg |
| 直径 | 165 mm |
| 高度 | 73.5 mm |
| 其他 | |
| 真空端线缆 | 3 根 1 m 线缆 (± 5 %) 带 f. DB9 和 ix Industrial 连接器 |
| 空气端线缆 | 3 根 2 m 线缆 (± 5 %) 带 f. DB9 和 ix Industrial 连接器 |
| 材质 | 阳极氧化铝 |
产品参数
| 参数/型号 | 行程（XY）mm | 行程 θ （Z））° | 较小可移动增量（XY）nm | 较小可移动增量 θ（Z）µrad | 重复定位精度（XY）nm | 重复定位精度 θ （Z）µrad | 推力/拉力 N |
| XYRHV-8N | ± 10 |
± 10 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(X) 10 / (Y) 8 |
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