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压电6轴平台

行程 (XYZ)：± 10 mm

行程 θ (XYZ)：± 10°

较小可移动增量 (XYZ)：2 nm

较小可移动增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 µrad

重复定位精度 (XYZ)：± 200 nm

重复定位精度 θ (XYZ)：± 15 µrad

大推力/拉力：(X) 10 N / (Y) 8 N / (Z) 30 N

产品描述

产品参数

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产品描述

PRECIBEO HEXStage 1 既可沿着也可围绕 X、Y 和 Z 轴以纳米级精度移动重达 2.5 kg 的负载。

PRECIBEO GO 的模块化系统中的所有产品均互相兼容，可以轻松地组合成多轴系统，提供平滑的连续运动、快速的步进和整定时间，并且在静止时自锁。

PRECIBEO HexStage 1 可通过两个菊花链连接的控制器和应用程序来控制。提供 C++ DLL 文件，轻松实现软件的二次开发。

特性

● 行程 (XYZ)：± 10 mm

● 行程 θ (XYZ)：± 10°

● 较小可移动增量 (XYZ)：2 nm

● 较小可移动增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 µrad

● 重复定位精度 (XYZ)：± 200 nm

● 重复定位精度 θ (XYZ)：± 15 µrad

● 大推力/拉力：(X) 10 N / (Y) 8 N / (Z) 30 N

产品参数

产品参数

参数/型号	行程 (XYZ)	行程 θ (XYZ)	较小运动增量 (XYZ)	较小运动增量 θ (XYZ)	重复定位精度 (XYZ)	重复定位精度 θ (XYZ)	大推力/拉力
HEX1-30N	± 10	± 10	2	＜ 0.1	± 200	± 15	(X) 10 N / (Y) 8 N / (Z) 30 N