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真空压电6轴平台

行程 (XYZ)：± 10 mm

行程 θ (XYZ)：± 10°

较小可移动增量 (XYZ)：2 nm

较小可移动增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 µrad

重复定位精度 (XYZ)：± 200 nm

重复定位精度 θ (XYZ)：± 15 µrad

大推力/拉力：(X) 20 N / (Y) 16 N / (Z) 30 N

产品描述

产品参数

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产品描述

HEX1HV 真空压电 6 轴平台既可沿着也可围绕 X、Y 和 Z 轴以纳米级精度移动重达 2.5 kg 的负载。

这款平台为低至 10-4 Pa 的高真空环境而设计，每个平台都配有一根真空线缆（编织金属套管包裹的 PTFE 涂层电线），末端为 DB9 母头。

此外每个平台还配有空气端母头 DB9 转 ix-Industrial 接口的线缆。将真空端和空气端线缆连接到 DB9 馈通接口，将空气端的 ix-Industrial 连接器连接到控制器，即可开始使用了！

PRECIBEO GO 模块化系统中的所有产品都互相兼容，并且可以轻松地组合成多轴系统，提供平滑的连续运动、快速的步进和整定时间及静止时自锁功能。

特性

● 行程 (XYZ)：± 10 mm

● 行程 θ (XYZ)：± 10°

● 较小可移动增量 (XYZ)：2 nm

● 较小可移动增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 µrad

● 重复定位精度 (XYZ)：± 200 nm

● 重复定位精度 θ (XYZ)：± 15 µrad

● 大推力/拉力：(X) 20 N / (Y) 16 N / (Z) 30 N

产品参数

产品参数

参数/型号	行程 (XYZ)	行程 θ (XYZ)	较小运动增量 (XYZ)	较小运动增量 θ (XYZ)	重复定位精度 (XYZ)	重复定位精度 θ (XYZ)	大推力/拉力
HEX1HV-30N	± 10	± 10	2	＜ 0.1	± 200	± 15	(X) 20 N / (Y) 16 N / (Z) 30 N