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NPS-Z-15A 是一款压电扫描式柔性导轨平台，集成电容式位置传感器。它具备亚纳米级分辨率和重复性。
该平台的设计使其与运动轴线的夹角较小；非常适合用于扫描探针显微镜探针以及其他对横向运动要求较高的应用。
特性
● 行程大于 15μm，分辨率达亚纳米级
● 典型值：滞后误差小于 0.005%，线性误差小于 0.01%
● 第一谐振频率典型值大于 3.5kHz
● 高带宽（大于 300Hz）和快速响应时间
● 原位扫描和步进响应优化
● 坚固可靠
● 超殷钢结构
应用
● 扫描探针显微镜
● 近场扫描光学显微镜（NSOM）
● 原子力显微镜
● 精密工程
● 干涉测量
● 计量学
推荐控制器
● NPC-D-5200 数字控制器
● NPC-D-6000 系列
产品参数
| 参数/型号 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-Z-15A | Z |
超殷瓦合金（亮镀镍） |
8 |
0.2 |
＜0.01 |
NA. |
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