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| 参数/型号 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| XP系列 | Z |
铝/不锈钢 |
200 闭环 400 闭环 800 闭环 |
50 30 10 |
0.005 |
5 |
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