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隔振平台 控制器 控制手柄 夹具 显微照明光源
EN
PT-HQT75-C20C
行程 20 × 20 mm
纳米级分辨率
重复定位精度 2 μm
体积 100 × 100 × 20 mm
行程 20 × 20 mm（±0.1 mm）
使用 TULA75 驱动
RS232 和 USB 控制
无电磁干扰
运行噪音低且无振动
断电后自锁
产品描述
产品参数
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产品描述
PT-HQT75-C20C 小型电动 XY 载物台为正置显微镜打造，凭借出色的适配特性，既能轻松集成到现有的显微镜系统中，提升系统性能，也可实现稳定的平面运动，适用于材料科学、半导体检测等对精度和稳定性要求较高的应用场景。底部开孔大小 60 × 60 mm，该平台使用 TULA75 作为驱动装置，同时满足了高速定位与纳米级定位的需求。
一、超声波压电与粘滑效应驱动
采用 TULA 直线电机驱动，无电磁干扰，运行噪音低且无振动。 电机具备自锁定功能，断电后仍能保持位置，确保系统安全。 低发热设计，保障长时间稳定运行。
二、高精度
闭环位置控制确保纳米级定位精度，分辨率可达 100 nm。 速度可达 10 mm/s，支持快速点到点移动。 双向重复定位精度 ±2 μm，稳定性优异。
三、长寿命与高可靠性
寿命超过 100 万次循环。负载能力 400 g，适用于多种实验配置。
四、安装灵活性
体积小便于安装集成 环境适应性强：工作温度 -20°C 至 +70°C，湿度 ≤ 70% RH（非冷凝）。
五、应用领域
● 显微镜与成像技术
● 纳米加工与检测
● 生物医学研究
● 半导体制造与检测
● 光学仪器校准
产品参数
| 参数/型号 | 行程 mm | 重复精度 μm | 分辨率 μm | 速度 mm/s | 负载 kg | 编码器精度 μm | 螺距 mm |
| PT-HQT75-C20C | 20 × 20 |
2 |
0.1 |
10 |
0.25 |
0.1 |
Na |
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产品资料
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