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附件
隔振平台 控制器 控制手柄 夹具 显微照明光源
EN
NPS-XYP-250Q
三轴压电驱动平台
行程：X、Y 轴 – 250 µm，Yaw – 250 µrad
高真空兼容 (10⁻⁷ Torr)
工作温度可达 50 °C
孔径：350 mm
负载能力：>10 kg
材质：铝（主体）、不锈钢和钛合金结构
重量：31.5 kg
尺寸：600 × 600 × 60 mm
稳定性：60 秒内 <1.5 nm (rms)
产品描述
产品参数
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相关附件
产品描述
300 毫米掩膜定位台
NPS-XYP-250Q 纳米定位平台可在 300 毫米制造工艺中实现高精度、高稳定性的掩模定位。
该平台在 X 轴和 Y 轴方向上的移动范围为 250 微米，偏航角（φ/θz）的旋转范围为 250 微弧度。其 350 毫米的大孔径和超过 10 千克的负载能力使其能够满足光掩模生产和晶圆制造（包括气相沉积系统）中的各种掩模应用的需求。
该平台可承受高真空和高温环境，使其适用于光掩模生产和晶圆制造（包括气相沉积系统）中的各种掩模应用。
特性
● 行程：X、Y 轴 – 250 µm，Yaw – 250 µrad
● 高真空兼容 (10⁻⁷ Torr)
● 工作温度可达 50 °C
● 孔径：350 mm
● 负载能力：>10 kg
● 材质：铝（主体）、不锈钢和钛合金结构
● 重量：31.5 kg
● 尺寸：600 × 600 × 60 mm
● 稳定性：60 秒内 <1.5 nm (rms)
推荐控制器
● QGNPC-D-600 系列
产品参数
| 参数/型号 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-XYP-250Q | X，Y轴，Yaw |
铝（主体）、不锈钢和钛合金结构 |
X、Y 轴 – 250 µm Yaw – 250 µrad |
>10 |
NA. |
NA. |
资料下载
产品资料
使用手册
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控制器
电话：021-52996090邮箱：sales@nanoptic.com传真：021-52996090
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