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| 参数/型号 | 行程 (X) mm | 定位传感器 | 分辨率 nm | 小运动增量 nm | 双向重复定位精度 | 大推力/拉力 |
| ACT1-10N | 9 |
光栅编码器 |
2 |
2 |
± 200 nm (全行程) |
10 N (至少) |
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