显微镜电动模块
微型运动控制
纳米定位系统
电动位移平台
隔振平台
附件
微型压电推杆可在厘米距离内以纳米级精度移动,并在静止时自锁;配有集成定位传感器,旨为快速实现简便设置所需的精度、负载能力和易用性。
9
光栅编码器
2
± 200 nm (全行程)
10 N (至少)
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