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产品描述
NPS-Z-90Q 平台负载高达 8 kg，为大型物镜和光学元件的高动态定位而设计。
平台孔径大于 100 mm，Z 轴行程范围为 100 µm。它可以配置为纯 Z 轴定位，也可以配置为三轴（Z/倾斜/俯仰），从而实现有效载荷的主动对准。
能够在大负载下 1 µm 步长内实现 ≤10 ms 的步进整定时间，使其成为半导体制造、测试和检测以及大型科研项目中物镜或其他光学元件应用的理想选择。
特性
● Z 轴行程 100 µm
● 倾斜/俯仰角度0.4 mrad
● 通光孔径 >100 mm
● 承重 8 kg
● 材质：不锈钢，钛合金
● 尺寸：直径 165 × 高度 70 mm
● 快速步进稳定：1 µm (±40 nm) 步进整定时间 <10 ms
推荐控制器
● NPC-D-6000 系列
产品参数
| 参数/型号 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 负载 kg | 线性误差 % | 重复定位精度 nm |
| NPS-Z-90Q | Z |
不锈钢，钛合金 |
Z 轴100 µm θ (XY) 0.4 mrad |
8 |
NA. |
NA. |
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使用手册
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控制器
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